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使用BoPET鉸鏈的微加工水浸式掃描鏡
山東益人機械有限公司 發布時間：2021/9/30
水浸式掃描鏡可用于掃描超聲和光聲顯微鏡中的聚焦光束和超聲束。
開發了一種新的制造工藝，以實現水浸式掃描鏡的最小化和批量制造。
建立了新的3D多物理場有限元模型，用于模擬靜態和動態機電行為。
通過實驗測試和表征驗證了該水浸式掃描鏡的掃描性能。
本文報道了一種新的采用BoPET（雙軸取向聚對苯二甲酸乙二醇酯）鉸鏈的微加工兩軸水浸式掃描鏡。開發了一種基于在混合硅-BoPET基板上進行深等離子體刻蝕的新制造工藝，以實現高分辨率圖案化和批量制造能力。為了演示，設計，制造和測試了原型掃描鏡。它的整體尺寸為5×5×5毫米3，可與典型的硅基微掃描鏡相媲美。采用短鉸鏈設計，鏡板尺寸達到4×4 mm2為光學或聲束轉向提供更大的孔徑。在空中，快軸和慢軸的共振頻率分別為420 Hz和190 Hz。當浸入水中時，共振頻率分別降低到330 Hz和160 Hz。反射鏡圍繞快軸和慢軸的傾斜角度與驅動電流高達±3.5°呈線性關系。通過同時驅動兩個軸，可以在空氣和水中獲得穩定且可重復的光柵掃描圖案。微加工的水浸式掃描鏡可用于空氣和液體環境中的各種掃描光學和聲學顯微成像應用。
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